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達沃西冷水機在半導體芯片加工環節中的應用

更新時間:2025-02-26      點擊次數:156

           達沃西冷水機在半導體芯片加工環節中的應用

達沃西半導體用冷水機在半導體芯片加工環節中的應用。冷水機的循環液的溫度、流量和壓力進行準確控制,以實現半導體工藝制程的控溫需求,是集成電路制造過程中的關鍵設備,溫控精度和溫控范圍要求高,應用在刻蝕、薄膜沉積、涂膠顯影、 擴散與氧化、離子注入、CMP等設備。

1. 光刻(Photolithography

作用:光刻機在曝光過程中會產生大量熱量,溫度波動會導致光刻膠的形變和光刻圖案的偏移。冷水機通過提供±0.1℃以內的高精度冷卻水,維持光刻機光學系統及激光光源的恒溫,確保曝光精度。

2. 刻蝕(Etching

作用:干法刻蝕(如等離子刻蝕)設備在運行中會因高頻電場產生高溫,若不及時冷卻,可能導致刻蝕速率不穩定或設備損壞。冷水機通過循環冷卻水快速散熱,維持刻蝕腔體溫度穩定,保障刻蝕均勻性和工藝重復性。

特殊要求:部分刻蝕工藝需使用腐蝕性氣體,冷水機需采用耐腐蝕材料(如鈦合金換熱器)

3. 離子注入(Ion Implantation

作用:離子注入機的高能離子束轟擊晶圓時會產生熱量,可能導致晶格損傷或摻雜分布不均。冷水機通過冷卻靶盤和束流控制部件,確保注入過程的溫度穩定性,提升摻雜精度。

4. 擴散與氧化(Diffusion & Oxidation

作用:擴散爐和氧化爐在高溫(800°C~1200°C)下運行時,設備冷卻系統需通過冷水機快速帶走熱量,防止爐體過熱并維持工藝溫度的均勻性。例如,氧化工藝中硅片需在嚴格控溫環境中生長二氧化硅層,冷水機可防止熱應力導致的晶圓翹曲。

5. 化學機械拋光(CMP

作用:CMP設備在拋光過程中因摩擦產生高溫,可能導致拋光液揮發或晶圓表面缺陷。冷水機通過冷卻拋光墊和傳動系統,控制工藝溫度,減少拋光液黏度變化,提升表面平整度。

6. 薄膜沉積(Thin Film Deposition

作用:在物理氣相沉積(PVD)和化學氣相沉積(CVD)過程中,反應腔體的冷卻至關重要。例如,CVD工藝中高溫氣體需通過冷水機快速冷卻,避免副反應發生;濺射靶材的冷卻則能延長設備壽命并提升薄膜均勻性。

7. 封裝與測試(Packaging & Testing

作用:

封裝:芯片封裝過程中需冷卻熱壓焊機、注塑機等設備,防止封裝材料因高溫變形或固化不均4

測試:在芯片功能測試和老化測試中,冷水機為測試設備提供穩定的低溫環境(如-40°C~150°C),模擬溫度條件,驗證芯片可靠性。

特殊需求:部分測試需快速降溫(如30秒內降至設定溫度),要求冷水機具備高制冷功率和動態響應能力

   作為半導體溫控整體設備供應商,深圳達沃西恒溫擁有多年的溫度控制經驗以及設備機臺配套經驗,冷水機在芯片加工中的技術特點1.超高精度溫控:溫度波動需控制在±0.1°C以內,2.耐腐蝕與潔凈性:采用不銹鋼或鈦合金水路,避免金屬離子污染;內置過濾系統攔截微粒(10μm),。3.低振動與低噪音:壓縮機采用隔音罩和減震設計,避免干擾敏感工藝

4.快速降溫能力:在測試環節中,制冷系統需在短時間內實現大溫差降溫(如30°C5°C),確保測試效率,具備單通道、多通道半導體溫控設備批量生產能力;可實現從晶圓制造、涂膠顯影、刻蝕、清洗、薄膜沉積到實驗室測試研發等各個環節中的準確溫控。達沃西恒溫目前已與半導體多領域行業大企業達成合作,可為客戶提供標準品及用戶定制品,自2014年創辦以來不斷創新,注重研發和質量把控助力于集成電路新一輪產業升級。

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